二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293820984 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是由TEL開發的高精度晶圓蝕刻器。該蝕刻器適用於廣泛的應用，包括半導體處理、MEMS、顯示處理和光子學。TEL TE5000具有先進的等離子體蝕刻技術和先進的光輔助蝕刻技術。該蝕刻器提供了極其精確的蝕刻控制，實現了高長寬比，並為各種蝕刻過程提供了出色的均勻性和吞吐量。蝕刻器具有精密的腔室設計，最多可進行5級蝕刻工藝。TOKYO ELECTRON TE-5000具有高通量和高工藝精度.蝕刻器的設計可容納200 mm x 200 mm的加工室尺寸，以及300 mm的晶圓尺寸。晶片裝卸過程也可以是自動的，允許有效的批處理。TE-5000配備了先進、用戶友好的軟件界面。界面使得設置和控制蝕刻過程變得容易。該軟件還使用戶能夠監控和控制氣體流速、壓力、氣體混合比等各種參數。它還允許用戶使用在該過程中收集的數據來分析和優化蝕刻過程。TEL TE 5000采用優化的腔室結構設計，提供卓越的蝕刻均勻性和工藝重復性。它同時包含RF和DC源,為用戶提供對過程變量的強大控制。此蝕刻器的其他功能包括執行快速溫度控制的能力、可選的晶圓映射能力以及快速的機器人手臂設計。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000是一款高度先進、可靠、用戶友好的晶圓蝕刻器。這種蝕刻器是各種半導體處理、MEMS、顯示處理和光子學應用的絕佳選擇。通過其先進的硬件和軟件,TEL TE-5000提供了卓越的蝕刻效果,具有卓越的重復性和精確度。