二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9068911 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是一款為半導體電路蝕刻而設計的asher或蝕刻器。它是一種高精度的機器，可以精密蝕刻幾納米的屏障，在超純晶片或薄膜中產生細紋。蝕刻過程由軟件、硬件和真空控制硬件的組合精心控制。TEL TE5000設計用於幹（等離子體）或濕（液）工藝中的蝕刻。在幹蝕刻中，機器使用等離子體槍和電極來構建離子和電子的反應性環境，從而將設計蝕刻到基板上。在濕蝕刻中，液體化學物質與水混合，這種溶液噴灑到基材上產生蝕刻。TOKYO ELECTRON TE-5000可以一次蝕刻兩個大區域（稱為批蝕刻），也可以以受控速率在晶圓表面移動，同時以圖樣蝕刻小部分（稱為步進重復蝕刻）。機器的真空確保等離子體和液體遠離晶片，各種傳感器測量蝕刻過程並記錄過程參數，以便進行質量控制。蝕刻過程也可以用生成模式設置的計算機程序來控制。TEL/TOKYO ELECTRON TE5000還能夠利用晶圓上的掩蔽材料層或執行反向蝕刻過程來產生復雜復雜的圖樣。此過程通過平面光掩碼（稱為「升空」）創建可行的模式。另外，還可以進行濺射、化學氣相沈積和離子註入等二次過程。TE-5000是一個可靠的蝕刻系統，能夠快速、精確地產生高分辨率的蝕刻。其精細的控制是由於其先進的設計加上其精密的軟件控制系統。TE5000是半導體工業精密蝕刻的重要工具。