二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9181766 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是一款蝕刻器/asher，旨在有效蝕刻和灰分晶片、集成電路以及其他具有精確和可重復性的元件。該機利用先進的光學分光光度計，對工藝參數進行實時精確測量，以實現卓越的蝕刻和灰化。TEL TE5000創造的超高真空環境可防止空氣中的顆粒影響蝕刻/灰化過程，並為可靠操作提供超清潔環境。此外,asher還提供了改進的選擇性,以確保對較小的特征進行最少的不需要的蝕刻。TOKYO ELECTRON TE-5000支持1英寸至8英寸的基材尺寸，最高溫度為850 °C，最大腔室壓力為0.5 torr，Asher帶寬為8 kHz。該設備的最大臺階高度為20 µm,還具有可編程線圈組件,可確保均勻蝕刻和均勻還原氧化層。TE 5000還可以對各種晶圓處理細節進行程序嵌入。TE-5000具有多種優化過程的子系統,包括過程反應堆室、過程中室控制單元（ICCU）、堅固的重型SEM柱、快速運行的化學供應系統、高性能微波發生器和實時氣體註入單元。它還利用專門的軟件包進行快速數據檢索、交互式通信、過程優化和友好的圖形界面。為了提高安全性和效率，TOKYO ELECTRON TE5000包括晶圓盒傾斜機、用於收集細顆粒的平面內服務袋過濾器（IPF），以及帶有過濾器和清潔工具的超安全、降噪外殼。此外，它還通過利用一種專有的熱磁控管技術（THANM）來減少氣體消耗和降低運行成本，以節省能源。總體而言,TE5000是一種高級蝕刻器/asher,專為晶圓、集成電路和其他組件的精確蝕刻和灰化而設計。憑借先進的光學分光光度計和廣泛的尖端特性，該機確保了可靠的操作和改進的可加工性。