二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9236835 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是一款蝕刻器和asher設備,專門設計用於提供具有最高可靠性和生產率的高性能蝕刻和灰化功能。適用於晶圓加工、光掩模加工、電路板生產、材料去除等多種應用。TEL TE5000是一個全自動系統,包括一個高速、低壓、蝕刻室,能夠精確控制蝕刻和灰化過程。它具有均勻的蝕刻速率,極好的可重復性,可用於各種先進的蝕刻和灰化化學。利用其自動過程控制單元,以最小的操作員交互作用提供可重復、精確的蝕刻和灰化結果。該機與雙級掃描電子顯微鏡(SEM)和真空處理室完全集成。這些組件使工具能夠精確控制蝕刻和灰化過程,同時最大限度地減少蝕刻和灰化化學和底物之間的相互作用。SEM資產還允許對蝕刻和灰化過程進行實時監測,以確保以最少的浪費獲得最佳效果。TOKYO ELECTRON TE-5000還提供擴展的工藝能力,包括高通量自動晶片蝕刻、深度蝕刻、特征尺寸控制的選擇性蝕刻以及蒸氣蝕刻應用。此外,它還配備了一系列先進的蝕刻和灰化化學物質,以支持各種工藝化學物質。這提供了最佳的基板兼容性,並允許更大的過程靈活性和精度比其他蝕刻和灰化系統。TE5000設計為安全可靠的蝕刻和灰化模型。它具有安全聯鎖功能,可防止意外操作,它的電子停止開關可在緊急情況下自動使設備停止工作。此外,它還設計了增強的電氣和安全保護系統,以確保其符合所要求的安全標準。最後,TEL TE 5000是一種用於蝕刻和灰化應用的理想工具.其先進的特性、高精度、可靠的操作和用戶友好的界面使其成為任何蝕刻和灰化需求的理想選擇。
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