二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9269142 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是一款半自動、低成本的蝕刻器/asher。它旨在蝕刻和或粉刷薄膜材料。TEL TE5000配備了低功率等離子體源、高輸出微波等離子體源和低壓低價氣源。源組合允許對包括玻璃、矽、金屬和有機材料在內的各種基板進行蝕刻或灰化。TOKYO ELECTRON TE-5000蝕刻和灰分設備設計用於提供低價等離子體蝕刻和低壓化學灰分工藝。TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000蝕刻灰系統通過用戶友好的圖形用戶界面（GUI）進行控制。此接口允許操作員輕松編程和監視蝕刻和灰化過程。TEL TE-5000為單面蝕刻、雙面蝕刻、蝕刻和灰分兩步蝕刻和灰分等特定工藝提供了多種蝕刻和灰分程序。TE-5000還提供了廣泛的濺射模式設置,從用於清潔和脫鈦的低功耗DSE模式到用於濺射鋁和鈦層的大功率DCD模式。TEL/TOKYO ELECTRON TE5000蝕刻和灰燼單元還配備了先進的診斷技術。該機器提供在線診斷,包括實時分析和蝕刻和灰化過程的預測。這項技術使操作員能夠監測原位處理參數的狀態，對蝕刻和灰化過程提供即時反饋。TEL TE 5000由剛性、堅固的車架構成,包括各種安全功能,如壓力控制機構和冷卻系統。TOKYO ELECTRON TE 5000還附有多種附加功能，包括自動等離子體清洗、氣體回收和控制系統。TOKYO ELECTRON TE5000是一種通用的、低成本的蝕刻器，用於蝕刻和灰化薄膜材料。它配備了先進的用戶界面和診斷技術，便於操作和監控蝕刻和灰化過程。TE 5000為多種底物提供了低價等離子體蝕刻和低壓化學灰化模式。此外,該工具還提供在線診斷、自動控制系統和一系列安全功能,包括壓力控制和冷卻系統。