二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9396121 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是一款高性能、高精度的蝕刻器/asher,主要設計用於半導體加工。因此，它是內部制造集成電路器件的理想工具。TEL TE5000是一個單站、大面積的蝕刻器/asher,具有高級控制器和完整的流程配方功能。它能夠精確設計各種光刻膠，包括為亞微米IC生產而設計的光刻膠。數字通用控制允許快速預熱和優化等離子處理功能。TOKYO ELECTRON TE-5000在各種底物上提供均勻的保形蝕刻，包括石英晶片和各種氧化膜。可以精確編程蝕刻速率以滿足設備性能要求。矽在不到一分鐘的時間內蝕刻不到其厚度的10%。TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000還包括一個診斷端口,允許遠程監測和分析蝕刻/灰燼過程。此端口允許操作員監視蝕刻均勻性,並根據需要進行調整。TOKYO ELECTRON TE 5000也兼容廣泛的元件，用於後蝕刻/灰化應用。這些包括化學浴池、氮幹燥器和等離子體氣相沈積系統。在灰化過程中，TEL/TOKYO ELECTRON TE5000將以環保的方式清除樣品表面的汙染物。除了出色的蝕刻/灰燼性能外,TE-5000還非常易於操作。可配置的功能範圍允許用戶根據自己的需求輕松定制其流程參數。TOKYO ELECTRON TE5000不需要廣泛的訓練，容易整合到現有的晶圓廠過程中。總體而言,TEL TE-5000是一種高級蝕刻器/asher,可提供卓越的精度、控制和性能。對於希望在內部進行精密半導體蝕刻/灰化並取得世界一流設備生產成果的人來說,它是一個理想的解決方案。