二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC #9148389 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC是用於高密度低成本蝕刻工藝的先進蝕刻設備。該系統采用獨特的設計，利用自動軌道控制（ATC）來控制蝕刻梁的寬度和運動。ATC提供了高精度的蝕刻梁位置和運動，從而提高蝕刻質量。TEL TE 5000S ATC還包括一個高精度的光束定位單元和一個精確控制的蝕刻電流源，以保持均勻的蝕刻速率。TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC是一種雙層機器，能以高精度和吞吐量蝕刻多層材料。也適用於蝕刻到多種基材上，如SiO2、SiNx、SiGe。蝕刻速率可調節，具有廣泛的蝕刻能力，使蝕刻器能夠高速、精確地蝕刻。該工具還具有較低的擁有成本，可用於生產細線和結構。TE 5000S ATC利用集成離子源和離子室控制蝕刻速率。資產還包含用於控制蝕刻輪廓的高級控制器。該模型允許快速設置和易於操作的接口來控制過程參數,包括電壓、電流、光束方向和蝕刻速率。ATC由步進電機提供動力,用於精確的速度和位置控制。TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC能夠蝕刻廣泛的材料，包括SiO2、SiNx、SiGe、GaN等等。該設備旨在提供對蝕刻工藝參數包括電流、電壓和蝕刻速率的卓越控制，產生高質量的蝕刻效果。該系統可用於刻蝕孔、盲孔、復雜圖樣以及其他高級刻蝕工藝。TEL TE 5000S ATC擁有高科技不銹鋼結構的石英窗和高溫玻璃側壁，提供了極好的保護。該單元設計為易於操作，並具有用戶友好界面和圖形顯示，使其易於設置、監控和存儲流程數據。機器還配備了多項安全功能，包括在緊急情況下緊急關閉蝕刻過程。TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC為高密度的低成本蝕刻工藝提供了一種健壯、可靠、高效的蝕刻工具。該資產提供了對蝕刻工藝參數的卓越控制，以高速度、高精度、高重復性提供了高質量的結果。該模型非常適合生產細紋和結構，以及用於通孔、盲孔和復雜圖樣。