二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #197615 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S
ID: 197615
晶圓大小: 6"
優質的: 1995
Oxide etcher, 6" Chamber 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S是一種蝕刻器/反應性離子蝕刻(RIE)設備,設計技術先進,與各類設備廣泛兼容。蝕刻通常在電子應用中用於制造和設計微量和納米級結構。該系統采用光刻技術,在基板上使用紫外線形成有圖樣的光致抗蝕劑,然後用反應性氣體將其蝕刻到基板上。TEL TE 5000S非常適合多種工藝,包括幹蝕刻、濕蝕刻、離子束蝕刻、物理蝕刻和其他特殊蝕刻工藝。TOKYO ELECTRON TE 5000 S由網絡化的圖形使用者介面提供動力,使蝕刻過程能夠有效率和精確的控制。它的各種設置可以預先編程和調整,以達到最佳性能。該單元在配置上的廣泛可變性使其適合各種蝕刻應用。它使用各種氣體,通過單獨調節的氣體通量提供最佳工藝。它具有低氣體消耗和最小的廢物生產,有助於確保越來越環保的機器。該工具采用智能加工室,配有光束柱頭和標線級對準系統,提供了高度的精確度和穩定性。它還具有Z軸高度調節資產,這對於蝕刻步驟的可變膜蝕刻速率是必需的。TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 S的腔室溫度可以精確設定為所需的水平。該型號具有先進的安全功能,如自動門鎖和緊急關閉,以保護操作員和環境。其機載成像和計量系統允許精確記錄蝕刻結構。TOKYO ELECTRON TE 5000S具有各種控制功能,如氣流和電流泄漏監測,以及過程氣體測試。TE 5000S是許多應用的理想解決方案,包括復雜的設備加工、基板生產和電路制造。其先進的技術使其成為可靠、高效的工具,確保堅固和準確的蝕刻過程。它是一種經濟實惠的設備,可以顯著減少制造時間和成本。
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