二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #9091958 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S是為半導體制造而設計的先進蝕刻機。這個模型是一個單室垂直蝕刻器，有一個真空室，設計最多3-4個蝕刻方程。該蝕刻工具利用可針對各種晶圓尺寸和配置進行調整的工藝參數,從而能夠對所有類型的半導體材料進行高質量的蝕刻。TEL TE 5000S利用兩個主要會議廳。下室為「蝕刻室」，容納蝕刻硬件，包括基板穿梭機、管式加熱器、支架，以及反應和氣體輸送系統等工藝設備。上腔是晶片在加工過程中所在的位置。在此，使用真空和微波頻率壓板在加工前加熱晶片，並支撐晶片進行切割和片刻。TOKYO ELECTRON TE 5000 S具有多種工藝能力，包括常規和深度蝕刻、圖樣蝕刻、可選區域蝕刻。它能夠蝕刻矽、砷化氙和其他類型的無定形和多晶半導體材料。TE 5000S通過使用原地化學、熱和電氣加工，為電子器件和半導體材料的制造提供了多種工藝配方。TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 S配備了多步運動控制系統，其中包括在開始前模擬蝕刻過程步驟的真空和運動模擬系統。這使用戶能夠調整和優化蝕刻過程,以實現最大的蝕刻性能。此外，TOKYO ELECTRON TE 5000S可以編程為蝕刻不同工藝所需的特定層配置和結構。TE 5000 S使用高功率射頻源來產生蝕刻加工所需的等離子體能量。該源用於控制蝕刻過程的蝕刻速率和深度。此外,TEL TE 5000 S還提供多種功能,例如映射和剖面分析功能、反應源優化以及氣體化學控制,以改善蝕刻結果。總之，TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S是一種最先進的垂直蝕刻系統，提供多種工藝能力和特點。TEL TE 5000S具有廣泛的蝕刻配方和加工能力,是半導體器件制造的通用工具,具有高質量的蝕刻效果。