二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #9226073 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S是一款先進的蝕刻器/asher，專為高端精密蝕刻應用而設計。這種蝕刻器/asher是一種用途廣泛的高性能裝置，旨在方便各種基板的高分辨率光刻蝕刻。它能夠在直徑不超過8英寸、溫度不超過1000 °C的晶片上進行濕法加工。TEL TE 5000S具有先進的頂端多光束掃描儀,並提供精確的蝕刻圖樣邊緣定義,這一過程可以通過先進的邊緣拋光技術得到進一步增強。TOKYO ELECTRON TE 5000 S提供了多種獨特的專有特性，具有先進的光學成像、高分辨率掃描電子透射測量儀和電子束光刻等多種成像工具，用於圖樣定義。TE 5000S還包括若幹自動化過程控制措施，包括能夠監測蝕刻過程中使用的氣體和溶液的化學成分，以及蝕刻器內部的溫度和壓力水平。此外，該裝置還配備了一系列工藝測量工具，包括使用原子力顯微鏡，以確保蝕刻時的最大精度。除了這些功能外，TE 5000 S還具備各種安全功能，以保護設備、操作人員和周圍環境。其中包括隔離室、低流量緊急關閉閥以及一系列安全傳感器和警報。此外，該裝置具有堅固的不銹鋼外殼，旨在確保在蝕刻過程中不會以任何方式損壞或降解。綜上所述，TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 S是一種強大、精確、可靠的蝕刻/灰化裝置。它提供了許多精密的功能,以實現各種基板的精確蝕刻,以及先進的自動化過程控制措施和安全功能,以確保最大程度的安全性和準確性。