二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #9251508 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S是一種高科技蝕刻器/asher,專為光刻工藝應用而設計。它由化學惰性石英室、高精度蝕刻噴嘴和先進的控制軟件組成。這種蝕刻器/粉碎器的工作原理是利用精確控制的高能離子束在人工制造的基板上蝕刻圖樣,如石英、聚合物、金屬和其他材料。憑借其先進的控制軟件和質量組件,它提供了卓越的蝕刻分辨率。TEL TE 5000S的外形尺寸相對較小,保證了無張力蝕刻工藝。石英室完全封閉,最大限度地減少了從被蝕刻基板區域傳熱。而且,強大的He-Ne激光源通過提供極聚焦的離子束來增強蝕刻精度。梁是可調的,可以微調以滿足任何應用的特定蝕刻要求。TOKYO ELECTRON TE 5000 S使用高級控制軟件操作。該軟件允許範圍廣泛的參數,包括蝕刻角度、蝕刻深度、蝕刻時間、氣體流量和光束大小等參數。此外,該軟件可以被編程為按順序運行多個蝕刻進程,使其成為同時運行多個應用程序的理想選擇。除了優越的蝕刻性能外,TE 5000 S還具備內置的溫度監控系統。這樣可以在蝕刻過程中進行精確的溫度控制,從而確保基板的最佳熱性能。蝕刻器/asher還提供不同類型的氣流,允許根據應用要求定制蝕刻環境。總體而言,TOKYO ELECTRON TE 5000S是光刻工藝應用的絕佳蝕刻器/粉碎器。它提供精確的蝕刻、精確的溫度控制和卓越的控制軟件,使其成為需要高精度的應用程序的理想選擇。
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