二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580 #9137192 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580是由TEL Ltd設計制造的蝕刻/asher設備。該系統設計用於半導體工業，包括光刻、深反應性離子蝕刻（DRIE）和等離子體蝕刻。該單元配備了一個多通道等離子體源、一個晶圓致動器，以及工藝室內部的一個可旋轉的磁感器。TEL TE 580非常可靠,可以快速準確地處理高分辨率模式,從而降低成本和周轉時間。TOKYO ELECTRON TE 580是一種完全集成的機器，由硬件、軟件和工藝技術組成。加工室允許同時蝕刻幾個晶片。該工具具有參數設置窗口,具有易於使用的圖形界面,可快速準確地設置蝕刻參數。TE 580還具有一個可轉動的感受器，與傳統的asher系統相比，它可以實現均勻的模式。TEL/TOKYO ELECTRON TE 580可以執行幹式和濕式蝕刻過程，其多通道等離子體源使用電子回旋共振（ECR）技術進行高效等離子體生成。該資產為優化不同材料和應用的基線和工藝配方提供了極大的靈活性。該模型還具有超高真空性能，非常適合進行高長寬比DRIE和遠程等離子體蝕刻等工藝。TEL TE 580旨在滿足半導體行業對高產率、質量和性能的嚴格要求。設備配備了先進的過程控制功能，確保了可重復的過程。該系統能夠控制諸如溫度、等離子體功率、壓力控制、底物溫度、離子劑量和離子能量等高端工藝參數。此外，TOKYO ELECTRON TE 580還配備了專門的工具，用於詳細的工藝分析，以最大限度地提高產量，最大限度地減少蝕刻結果的可變性。綜上所述，TE 580是半導體行業可靠有力的asher單元。其多通道等離子體源、可轉動感受器和先進的工藝控制能力使其成為精確、可重復的高分辨率蝕刻工藝的理想選擇。機器的高真空和過程分析特點保證了良好的效果一致。