二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580 #9198155 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TE 580
ID: 9198155
Oxide etcher, 6" SiN Mark Prcess: RIE(2).
TEL/TOKYO ELECTRON TE 580 蝕刻器/asher是一款功能強大、精密的蝕刻和勾勒機,設計用於半導體制造行業。這臺機器允許蝕刻多層材料以創建有陣列的晶圓,其特征包括最小的線寬、幹凈的邊緣和衰減的長寬比。離子束凈水和湍流控制等特性有助於進一步確保無懈可擊的高質量效果。TEL TE 580利用電子束對送入真空室中的特定材料和薄膜進行精確蝕刻或粉刷。機器在負真空壓力下運行,以降低蝕刻過程中受到汙染的風險。蝕刻過程由個人計算機控制,允許設置精確的參數器,包括梁電流、形狀、寬度、角度等。該機配備了一系列傳感器和安全機構,如高壓互鎖功能、EMI屏蔽、機動化舞臺補償等,確保在保持潔凈室環境的同時安全準確地進行蝕刻。機器還有多個波束電流監測系統,使機器能夠檢測正在處理的晶圓材料中的任何失調或差異,並相應調整設置以達到預期的結果。TOKYO ELECTRON TE 580是一款先進的機器,旨在在蝕刻和勾勒復雜材料方面創造完美的效果。該機具有環境安全特點、精密的蝕刻和勾勒能力以及可靠的安全監控,非常適合半導體制造行業的研發。
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