二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #293819191 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC是一種針對應用實驗、分析實驗和生產進行優化的蝕刻器/asher。它有一個大的基板級，可以在不需要任何附加工具的情況下進行樣品裝卸，對其氣體電路進行高度改進的設計，以及高效的真空系統。這種蝕刻器/asher的計算機控制速度為0到200Hz，使得基板蝕刻過程的控制更加容易和精確。此外，基板偏置電壓可調0到-200V，從而能夠控制蝕刻深度和均勻性。它有一個獨特的界面，可以方便地輸入參數，使它成為一個用戶友好的蝕刻器。對於過程控制,TEL TE 580LC使用高精度、原位端點檢測以及多種配方設置。這些設置易於編程,並且端點檢測可實現一致的結果。通過出色的側壁輪廓控制和均勻的蝕刻,確保了工藝的可重復性和可重復性,而高速模式則提供了快速的蝕刻性能。其超大型300 mm x 400mm基板托盤可容納多種樣本量，而其數字化的5步可調氣體流量計則允許準確可靠的氣體引入。TOKYO ELECTRON TE 580LC設有耐化學不銹鋼室，耐腐蝕，維修方便。此蝕刻器/asher還具有雙頻射頻發生器,可選擇更多的可用功率,其可變功率範圍可達500W。最後配備原位清洗系統，防止加工過程中顆粒汙染，確保蝕刻過程保持清潔穩定。TE 580LC旨在為用戶提供各種基材的最佳蝕刻性能。該蝕刻器具有精確的端點檢測、可調的加工速度和可調的氣體流速等多種性能特點，非常適合實驗和生產。超大的基材尺寸使各種樣品得以加工，而其耐化學不銹鋼腔室確保了在各種氣候下的可靠性能。