二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9091959 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC是一種高精度的等離子體蝕刻器/灰化器，可用於多種半導體制造工藝。機器使用等離子體將圖樣蝕刻或粉刷成半導體基板。其先進的技術可實現高吞吐量和低缺陷率,以及增強的薄膜均勻性和基板到基板的可重復性。該機器具有高達300 mm/s的高速,可確保快速完成蝕刻或灰化過程,並且高吞吐量可最大限度地提高生產率。剛性結構和先進的電機控制系統保證了精確的蝕刻，因為機器即使在高速下也沒有振動。它的垂直上下載荷鎖配置確保了簡單的示例載荷和卸載。此外,由於質量精度高和溫度控制,傳輸延遲也很小.TEL TE 580LC具有可變壓力室，能夠形成用於蝕刻或灰化過程的質量等離子體。這使機器能夠使用廣泛的蝕刻劑操作，如含氟化學品、半導體級鹽酸和硫基酸。它還具有鈦合金整體加工的基板支架，允許高度均勻的蝕刻工藝。為了用戶方便起見，該機還有一個符合人體工程學的設計，其中包括一個與用戶成角度的斜角液晶顯示器，以及一個用戶友好的GUI（圖形用戶界面），帶有自定義的流程設置和用於配方存儲的大內存。為確保安全，TOKYO ELECTRON TE 580LC擁有一個獨特的內置泄漏檢測系統，該系統可自動檢測和報警腐蝕性液體泄漏的潛在危險以及高效、可編程的安全協議。總體而言,TE 580LC是一款頂級的蝕刻器/asher,具有一系列功能,旨在提供高度可靠、可重復和經濟高效的流程。由於質量精度高和溫度受控,其先進的技術能夠以最小的傳輸延遲實現高效、精確的蝕刻或灰化。可變壓力室和鈦合金加工基板支架等附加功能確保了最高質量的蝕刻。其符合人體工程學的設計、用戶友好的GUI和安全協議增加了用戶的便利性,並確保了處理過程中的安全性。