二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9091964 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC是一款高精度、高通量的蝕刻器/asher，設計用於半導體和集成電路制造業的多種應用。該設備基於高效、自給自足的系統，集成了等離子體源、工藝室、真空泵、控制器和軟件。這種組合為用戶提供了高度的準確性和過程控制。TEL TE 580LC能夠在線性蝕刻/asher應用程序中處理高達10 μ m的功能大小。該單元配備了多縫線性陣列掃描儀，提供晶片表面的均勻曝光和精確的蝕刻/asher輪廓控制。該腔室具有增強的工藝腔室設計，能夠提高吞吐量和更好的工藝控制。TOKYO ELECTRON TE 580LC具有廣泛的過程控制功能,例如用於一致蝕刻/灰度的溫度反饋控制、實時質譜監測以及精確的壓力控制。先進的過程控制技術確保了一致的高質量結果和更高的過程可重復性。TE 580LC還具有廣泛的安全功能,如高壓安全閥、快門鎖定和遠程啟動。該機有一個集成的氣體排氣歧管，能夠高效、安全地使用氣體，並有助於維護安全的工作環境。該工具還具有強大且冗余的冷卻資產,具有多個風扇和散熱器,可保持工作溫度穩定,防止過熱並保持長期的模型性能。TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC具有易於使用的圖形用戶界面,並且自動配方和流程設置可用於常規流程。設備也易於維護，定期進行預防性維護，以確保正常運行。總體而言,TEL TE 580LC是一個可靠且功能強大的蝕刻器/asher系統,可為各種蝕刻/ashing應用程序提供高精度和可重復性。該單元構造堅固，使用方便，能提供優異的性能和一致的效果。