二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9109090 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC是一種先進的蝕刻/asher工藝工具，用於超精細的圖案和光滑的表面光潔度。這種蝕刻器/asher提供高通量和出色的顆粒汙染控制，並提供優越的均勻性跨晶片。這種先進的蝕刻器/ascher具有加載和卸載卡帶。該系統最多可裝載8個盒式磁帶，從而實現更高效的晶圓傳送。先進的TEL TE 580LC asher/etcher還具有改進的階段設計,可減少晶圓反沖和對晶圓的潛在損壞。一旦載入晶片，TOKYO ELECTRON TE 580LC 蝕刻器/asher利用載荷鎖定處理室。該工藝室設有一個或兩個升華爐和一個基板偏置。這種技術組合允許改進過程控制、加快晶圓周轉和改進邊緣定義。蝕刻器/asher還具有高級蝕刻控制功能。這種先進的蝕刻控制允許用戶通過自動磁場來改變蝕刻速率。此蝕刻率可根據具體要求進行調整。此外，這種先進的蝕刻器/asher具有高電容儲能系統，以提高蝕刻均勻性和精確控制。改進的蝕刻均勻性允許更好的過程重復性和更高的產量。TE 580LC還具有高溫過程,最高溫度為400°C。此功能有助於實現卓越的配置文件性能並確保高產品質量。它還有助於防止排氣,這是降低吞吐量的常見問題。此外，這種先進的蝕刻器/灰燼包括用於汙染控制的先進中子輻射探測。此功能有助於確保檢測到任何有害汙染物並迅速清除。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC 蝕刻器/asher是一種非常先進的工藝工具，用於超精細的圖案和光滑的表面光潔度。它提供了卓越的吞吐量和優越的均勻性跨晶片，並能夠實現卓越的輪廓性能和過程可重復性。