二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9109092 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC（TEL TE 580LC）是一種用於制造半導體器件的先進蝕刻器/asher。TOKYO ELECTRON TE 580LC是一種全自動的高端加工設備，旨在為晶圓上的細膩金屬和多晶矽沈積物的蝕刻和灰化提供卓越的精度和重復性。該系統使用感應耦合的Ar/O2等離子體為晶圓表面的離子和沈積粒子充電。等離子體是在受控環境中使用高頻ICP（感應耦合等離子體）功率和離子能量的精確控制產生的。ICP的高能量和低噪聲信號保證了蝕刻/灰化表面的理想性能。TE 580LC提供了無與倫比的過程速度和準確性。利用變頻ICP功率提高蝕刻速率，提高蝕刻表面均勻性。此外，TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC可以配置靜電夾緊以防止晶片棒，而轉彎同步能力允許在多個晶片上實現過程均勻性。該裝置占地面積小，非常適合在狹窄的實驗室空間中使用。其用戶友好的界面和自動化的過程，使得晶圓的高效和快速的處理。該機器包括一個低壓環境的真空室，使其能夠在不排氣或浸出的情況下發揮作用。最後,TEL TE 580LC與各種晶圓尺寸完全兼容,允許客戶定制工具以滿足其處理需求。此外，還可以調整工藝參數，以優化不同晶圓材料上的蝕刻和灰化。綜上所述，TOKYO ELECTRON TE 580LC是晶圓上生產精細金屬和多晶矽礦床的理想蝕刻和灰化資產。其先進的性能、緊湊的設計和用戶友好性使TE 580LC半導體制造業蝕刻和灰化的最佳選擇。