二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7000 #293667492 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7000是一款用於生產半導體器件的高速、高精度蝕刻器/asher。它旨在處理各種蝕刻和灰化應用程序,包括單層和多層進程。TEL TE 7000具有單電荷電子束,能夠生成具有最小CD變化的高精度圖像。該梁的設計目的是確保最小的表面汙染和減少重溶損傷。該設備還具有高級索引功能,如中心選擇和重復模式。TOKYO ELECTRON TE 7000能夠蝕刻許多材料，包括鋁、矽、焊料、PHG和WF2。該系統有一個可編程的離子源電源控制單元和幾個可編程的過程，包括低滲漏、多層次、優化的高長寬比過程。它還可以進行濕工藝蝕刻和灰化操作。TE 7000配備了晶圓取向和圖樣對準的先進技術，包括晶圓圖測量機和真空卡盤，兩者都保證了蝕刻和灰化過程中的高精度。蝕刻和灰化工藝還配備了背面加熱工具，用於調節腔室內的溫度。此外，該資產還具有自動疏散和排氣模型，以保持處理樣品的清潔環境。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7000旨在以最小的停機時間運行,並最大限度地提高工作效率。該設備設計具有先進的安全功能和直觀的用戶界面，便於操作和維護。總體而言，TEL TE 7000是一款高速、高精度的蝕刻器/asher，專為先進的半導體器件生產工藝而設計。其先進的功能確保了材料的精確蝕刻和灰化,且表面汙染和重新熔化損傷最小,並且可編程設置確保了最佳的工藝控制。該系統可靠、易於操作,並具有安全功能,可提高工作效率。