二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #293667490 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400是一款高效的蝕刻器/asher，用於先進的底物加工應用。由於TEL TE 7400具有混合多種氣體進行低溫、高選擇性、低損傷蝕刻的能力，因此非常適合矽、砷、碳、石英基板等多種先進工藝。TOKYO ELECTRON TE 7400提供先進的過程控制,具有多個氣體和尺寸控制閥（DCV）,用於精確的蝕刻時間和過程控制。多個反應性氣源可以連接到TE 7400，以實現超低損害的Ashing工藝。氣體輸送和過程參數可以通過使用可重復的參數存儲器進行精確調整。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400具有離軸、高分辨率等離子體發生器，產生具有靶向蝕刻速率和低背景損傷水平的高品質等離子體。離軸發生器具有內置的器件沈積室，能夠保護晶圓背面的汙染。此外，等離子體發電機還具有冷卻和安全保護功能，可確保蝕刻結果的質量和安全環境。TEL TE 7400具有帶石英通道模塊的多區域熱控制設備，允許用戶精確控制-20°C至250°C的氣體溫度。該熱控制系統提高了工藝的均勻性，提高了工藝氣體控制的靈活性，有效地利用了蝕刻氣體。TOKYO ELECTRON TE 7400具有遠程監控、等離子體剖析單元、最先進的圖像分析機等多種工藝監控功能，以獲得更好的吞吐量和準確性，以及檢查關鍵工藝結果的能力。此外,TE 7400提供了廣泛的軟件控制模塊,可以與外部系統（如過程控制系統）連接,以進一步擴展其功能。總而言之，TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400是一款最先進的蝕刻和灰化工具，提供具有先進工藝控制功能的柔性基板處理能力。適用於各種先進的基材加工應用。