二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #9198161 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400
ID: 9198161
晶圓大小: 6"
Oxide etchers, 6" Process: RIE(1).
TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400是一款用於電子制造行業的蝕刻器/asher。它是一種高端設備,專為需要精確和精確的應用而設計。該系統采用先進技術,在半導體晶片上以亞微米精度蝕刻和清洗細間距圖案。TEL TE 7400是一個自動化單元,提供實時反饋,以確保在蝕刻和洗滌過程中取得一致的結果。該機器包含一個多氣體射流,可以精確選擇和控制蝕刻氣體。每種氣體的壓力和流量都是獨立控制的,因此蝕刻速率和剖面可以根據具體要求量身定制。桶式加熱器將加工室加熱至400°C的溫度,以提高蝕刻速率和質量。它配備了自動腔室匹配工具(AMS),以補償工藝腔內可能的溫度變化。TOKYO ELECTRON TE 7400能夠處理高達300 mm的大型基材尺寸。它利用兩個負載鎖定系統進行晶圓的雙面處理。每個晶片都加載到自己的專用負載鎖中,讓更大的晶片加載更快。資產靈活的設計包括開門設計,方便維護和服務.該型號與MIA/PPC、ICOS等不同的自動化和控制系統兼容。它還包括一個直觀的操作員接口,方便編程和故障排除。TE 7400是電子元件精密蝕刻和洗滌的可靠工具。它是任何電子制造設備的重要組成部分,可以幫助確保制造高質量的產品。
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