二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #9198267 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400是一款為生產先進半導體而設計的蝕刻器/asher。它能夠加工尺寸達200毫米的基板，非常適合半導體生產、晶圓探測和包裝。該機采用水性濕蝕刻設備,可實現高達100 nm/min的蝕刻速率,並選擇高達100 °C的晶圓溫度。它還提供多種腔體配置和高級工藝監控功能,允許精確的蝕刻配置文件和精確的故障排除。TEL TE 7400具有高度精確的自動化系統,因為它能夠根據溫度和其他參數精確控制精確的蝕刻速率。易用的配方也讓單位操作直觀，設置快捷準確。該機還能處理大量的IC和基板，意味著適合生產運行。TOKYO ELECTRON TE 7400的環境友好型設計利用冷卻水來清除任何不希望的蝕刻蒸氣，並采用精心設計的排氣工具，方便揮發性化合物的排出。封閉式設計還限制了危險蝕刻化學品的暴露。TE 7400具有先進的基於圖像的過程監視器,可實現實時晶圓成像,從而實現精確的輪廓控制和過程調整。此監視器還允許深入分析蝕刻過程,從而深入了解關鍵過程參數。可以啟動自動清洗和過度蝕刻操作,以確保在各種基材上保持清潔、一致的蝕刻輪廓。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400具有精確檢測蝕刻速率的能力，自動調整工藝參數以保持精度。這些特性相結合，意味著TEL TE 7400是高度可靠的蝕刻器/asher，保證了先進半導體的高效、精確生產。