二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #9202961 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400是一種專門用於半導體晶圓制造的蝕刻器/灰化器。它在蝕刻和灰化過程中提供卓越、可靠和可重復的性能。TEL TE 7400具有獲得專利的熱解預處理器設備,可顯著降低非均勻蝕刻和灰化的程度。TOKYO ELECTRON TE 7400是一款可編程蝕刻器和asher，具有易於使用的圖形用戶界面（GUI），用於控制蝕刻和灰燼參數。GUI允許手動控制流程參數,最多可存儲50組單獨的配方。TE 7400還允許自動處理,這樣可以節省停機時間並減少手動操作所需的時間。該蝕刻器設計用於處理各種蝕刻氣體，包括O2、SF6、CF4和CHF3。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400具有反應物氣體輸送系統，旨在確保將蝕刻氣體均勻輸送到晶片。晶片在兩個加工室中加工，一個用於蝕刻，一個用於粉碎器。蝕刻和灰度時間可調節,範圍為0-999秒。TEL TE 7400還具有一個工作站,用於安裝從標準設計到定制設計的一系列電極設計。標準設計可用於蝕刻操作,而定制設計可用於縫隙蝕刻操作。TOKYO ELECTRON TE 7400光學單元的設計旨在確保在蝕刻和灰燼操作過程中均勻精確的電極控制,以獲得卓越的性能。TE 7400還具有掃描電子質量流控制器（SEMFC）,可幫助準確控制蝕刻室和灰化室中的過程氣流。此功能可確保蝕刻和灰化過程精確且可重復。它還有助於最大限度地減少晶片上出現空隙或意外蝕刻或灰燼的機會。最後,TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400具有若幹安全功能。在進入蝕刻器時有一個自動門互鎖以確保安全，在壓力超過操作極限時有一個超壓開關來關閉蝕刻器。嵌入式監控功能在蝕刻和灰分過程中不斷檢查晶片的溫度。這有助於確保均勻蝕刻和粉刷的精確溫度。總體而言，TEL TE 7400是一種專用於半導體晶圓制造的蝕刻器和灰化器，具有優異的性能，易於操作。TOKYO ELECTRON TE 7400憑借其獲得專利的預處理器機器和可編程過程控制設置,提供了可靠且可重復的性能,這對於許多蝕刻和灰化操作至關重要。