二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500 #9198156 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500是一種蝕刻器和asher設備，設計用於制造各種工業應用中的化學機械拋光（CMP）工藝。該系統提供精確的化學機械材料去除、1埃級晶圓拋光以及多個腔室配置,以實現最佳的工藝吞吐量。它還兼容各種實驗模塊配置，用於高級研發。TEL TE 7500具有兩種工藝類型,即「ePolish」和「etch/Ash」模式。在ePolish模式下，利用CMP技術提供各向同性和表面分段拋光，提供精確的工藝控制和優越的晶圓拋光精度。對於蝕刻/灰分模式,TOKYO ELECTRON TE 7500采用模塊化多腔室結構,能夠優化蝕刻/灰分配方的處理,並具有有效的晶圓界面,以實現基板傳輸精度。TE 7500采用數字無刷主軸電機設計,可實現最高的工藝電路效率,使用戶能夠獲得更高的吞吐率。它還具有智能綠洲控制軟件,用於監控和調整標準晶圓拋光和蝕刻/灰化過程中的液體環境。這使設備能夠自動保持過程穩定性,以提高可重復性和質量控制。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500還配備了原位氧化物/金屬化沈積機,可以立即制備用於拋光、蝕刻或灰化的晶片。此外,TEL TE 7500還采用智能配方控制軟件,利用原位氧化物/金屬化沈積工具中存儲的經過驗證的配方數據庫,在CMP過程中實時優化工藝參數,以確保最佳循環長度和工藝質量。開源配方開發工具同樣可用於測試和開發新流程。TOKYO ELECTRON TE 7500是一款功能強大且可靠的蝕刻器和asher資產,提供卓越的工藝精度和吞吐量。其多種特性使得它成為許多工業應用的理想選擇，如晶圓級封裝、先進的介電CMP或巨型磁阻器件制造。此模型是控制流程成本的理想解決方案,它是成功的業務運營的重要組成部分。