二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500 #9198159 待售

ID: 9198159
Oxide etcher, 6" Prcess: RIE(2).
TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500是一款用途廣泛、可靠、用戶友好的蝕刻/灰化設備。它可以用來蝕刻和灰化由多種材料組成的底物,包括SiO2、石英、金屬和聚合物。該系統采用離子束蝕刻(IBE)技術,能夠精確控制蝕刻過程。它的基板兼容性使其適合各種不同的應用,其先進的特性使其成為諸如MEMS/MOEMS、半導體器件制造和其他新興技術等應用的理想選擇。TEL TE 7500是通過直觀的圖形界面運行的全自動單元。其內置的電動旋轉級和可調節的瓷磚使基板能夠精確對準,並最大限度地減少了手動調整的需要。這使得機器易於使用,並且在蝕刻和灰化過程中提供了很高的精度。TOKYO ELECTRON TE 7500配備了多項功能,有助於提高工藝一致性和準確性。這些特點包括一個溫度控制工具,保持精確的溫度,用於精確的反應控制和蝕刻速率,以及一個傳感器,在蝕刻過程中監控壓力,以確保穩定有效的化學反應。此外,資產還具有專用的光束診斷模型,可幫助實時監控蝕刻過程,並提供有助於優化結果和縮短處理時間的反饋。設備采用可調節的噴嘴和真空線,允許在蝕刻和灰化過程中發揮最大效率。它還使用可調蝕刻光束和靜電卡盤,以便在蝕刻過程中優化電荷對準。最後,系統包括一個自動清潔模塊,可幫助減少維護和停機時間。總體而言,TE 7500是一款出色的蝕刻/灰化設備,具有使其適合各種應用的特點和功能。它具有質量結果所需的耐用、準確性和精確度,而且易於使用,因此非常適合任何技能級別的用戶。
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