二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500M #293600493 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500M是為矽、GaAs、AlAs等材料的精密、高效蝕刻和灰化而設計的高端蝕刻器/灰化器設備。該系統基於先進的多步驟技術,在該技術中,要處理的曲面要經過多個順序蝕刻和/或灰化步驟。其結果是準確、可重復的處理，旨在提供具有最低汙染物的最高產量。TEL TE 7500M配備了許多高級功能,使其成為一個功能強大、可靠且易於使用的解決方案,可滿足蝕刻和灰化需求。它的多晶片卡帶加載單元和自動傳輸能力降低了操作員的處理能力，而自動鎖定基板支架則確保了基板負載的精確對準和可追蹤性。該機還配備了直觀、易於導航的圖形用戶界面，具有完整的設置、監控和控制功能。TOKYO ELECTRON TE 7500 M的蝕刻和灰化能力是最頂尖的。它提供了智能、精密的過程控制系統，以幫助優化生產力和產量，有選擇性的力控制濕蝕刻，高通量幹蝕刻，和稀有氣體灰化。此外，該工具還包括對均勻蝕刻深度的全局幾何校正，以及先進的化學和質量平衡監測和調整，以確保準確的工藝結果。TE 7500M的特點是具有化學泵和內置機械泵的真空傳輸資產,以及可監控和調整化學、工藝和真空參數以確保高產品質量的現場監視器。配置模板、調度模式和在線配方修改等附加功能使TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500M滿足高級蝕刻和灰化需求的理想設備。總體而言,TEL TE 7500M為需要精確和可靠的蝕刻和灰化任務提供了理想的解決方案。此模型具有先進的功能、可靠的流程和直觀的用戶界面,旨在提供卓越的性能和效率,同時最大限度地減少浪費並實現最高的產量。