二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500M #293610453 待售

ID: 293610453
晶圓大小: 6"
優質的: 1994
Oxide etcher, 6" 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500M 蝕刻/aspher是一種先進的技術設備,設計用於對各種樣品材料進行蝕刻和灰化。采用反應性離子蝕刻技術對復雜圖樣進行精密蝕刻。TEL TE 7500M作為TEL產品系列中最先進的蝕刻器/蝕刻器,提供可靠的性能,具有無與倫比的精確度和均勻性。TOKYO ELECTRON TE 7500M配置了先進的8級工藝控制器和真空控制器,可精確控制蝕刻和灰度速率以及精確的溫度和壓力控制。該系統由強大的蝕刻室、雙區石英罐和排氣煙囪組成。該腔室設計為提供清潔、可靠、均勻的蝕刻/灰化工藝,而兩區石英罐和排氣煙囪則確保有效排出副產品。此外,還有各種樣品支架和電極,可以對各種材料進行有效的蝕刻/灰化。TE 7500M為用戶提供了多種可編程功能,允許用戶定義蝕刻和灰化率、溫度、壓力和其他參數的設置。該單元還提供了廣泛的安全功能,確保了蝕刻器/asher的可靠和安全操作。腔室配有互鎖機,如果刀具的電源中斷,可以用來防止腔室意外操作。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500M設計易於使用和高效,同時提供卓越的工藝能力。直觀的操作資產帶有觸摸屏界面,用戶可以選擇進程、輸入設置和跟蹤作業進度。TEL TE 7500M還具有先進的自我診斷功能,可以快速檢測潛在問題並提供警告消息和診斷。TOKYO ELECTRON TE 7500M是一種高效、可靠、用戶友好的蝕刻和灰化解決方案。它提供了卓越的性能、精確度和均勻性,同時確保了安全可靠的操作。TE 7500M是需要精密蝕刻和灰化的研究和商業應用的理想選擇。
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