二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8400 #9051322 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8400是一款蝕刻器/asher，設計用於精確成型和加工半導體等底物。TEL TE 8400是一種濕蝕刻設備，能夠蝕刻模具、二極管和其他數字集成電路。該系統配備了非接觸式晶片對晶片處理單元和7面等離子體/化學輸送機，用於精確的制圖過程。TOKYO ELECTRON TE 8400支持多種工藝，包括蝕刻、光刻、抗剝離和金屬沈積。該工具利用電離源氣體，如氯或氟，產生精確的等離子體蝕刻到晶圓中。氣體與射頻（RF）信號結合產生等離子體，可以在晶圓表面上蝕刻或沈積額外的物質。另外，TE 8400使用化工站加強蝕刻功率，減少蝕刻工藝時間。資產配置有高端特性，如氧化物抗反射（AR）塗層、隧道清潔、間隔器旁路、蝕刻選擇性優化等。AR塗層降低了晶片表面的反射率，以確保精確的微觀圖樣。隧道清潔通過清除向蝕刻端點發展的不需要的汙染物，減少了蝕刻過程的副產品。間隔器旁路消除了對常規硬掩模間隔器的需求，允許用戶直接對蝕刻特征進行圖樣化。最後，蝕刻選擇性優化有助於提高工藝的可重復性，降低對工藝變化的敏感性。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8400配備了先進的安全功能，包括自診斷、傳感器、報警器和安全鎖。自診斷功能可監控模型的運行狀況和性能,確保機器的最佳運行。傳感器監視外部工藝條件,以確保準確的蝕刻工藝。如果檢測到任何不安全的情況,警報設備會提醒操作員。最後,安全鎖系統確保只有授權人員才能進入設備。總體而言,TEL TE 8400是一款精密的蝕刻器/asher,非常適合要求苛刻的半導體和其他基材產品。該機先進的工程和功能為用戶提供了精確和可重復的蝕刻過程，並提高了安全性和安全性。