二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 IME #9128551 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401 IME是一款高度先進的蝕刻器/asher，設計用於處理多種材料。其先進的設計非常適合最新半導體生產所需的最精確的蝕刻和灰化工藝，同時仍提供制造高質量和可靠產品的手段。該設備配備了一個X-Y級、負載鎖和各種Chuck系統，允許廣泛的晶片進行加工。負載鎖具有高真空環境，與其他標準機器相比，可實現更高的真空水平。另外，該級具有極長的行進距離，允許晶圓的微調以達到盡可能高的工藝精度。TEL TE 8401 IME速度快、效率高，處理時間短，可處理大量晶圓。內置溫度控制器可實現最佳環境控制,同時保持精確的溫度和壓力,從而實現高質量的蝕刻和灰化過程。TOKYO ELECTRON TE 8401 IME針對濕蝕刻和幹蝕刻進行了高度優化,提供了一系列可選的蝕刻工具。此外，其先進的晶圓對準系統確保精確的放置和灰度在嚴格的公差範圍內。機器還配備了控制器，實時監控蝕刻和清洗過程。TE 8401 IME的其他功能包括自動基板加載系統,以及用於管理每個晶圓所需過程步驟的配方管理系統。它還為精確測量蝕刻和灰化過程提供了先進的計量和步進重復功能。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401 IME的先進設計使它的用戶能夠創造出具有可靠、精確蝕刻和灰化工藝的高精度和可靠的產品。其統一性和統一性控制確保了產品級別的一致性。該設備同樣擅長濕法和幹法蝕刻，以及制造先進集成電路所需的其他中間工藝，從而能夠快速高效地生產半導體。它的靈活性、生產能力和簡單的界面使其適合廣泛的應用。