二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #293637515 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401是一種為微電子製造而設計的蝕刻器或asher。該設備利用49個平行等離子源脈沖偏置對先進的微電子結構進行精確蝕刻。它提供高達100 nm的蝕刻精度和高達800晶圓每小時的吞吐量。TEL TE 8401采用水平對齊的串聯設計,可根據流程需要高效移動和更換不同的處理模塊。它的占地面積很小,但其先進的脈沖等離子體蝕刻技術具有出色的均勻性和準確性,可精確控制蝕刻速率、輪廓和臨界尺寸測量。該系統針對鋁、銅、低K介電材料等高選擇性、低輪廓的纖薄材料的蝕刻進行了優化。TOKYO ELECTRON TE-8401的優化均勻性使得薄介電層能更好地集成在器件中，具有更大的光刻和蝕刻工藝兼容性。TE-8401的其他關鍵特征包括增加特征密度的高長寬比、改進過程控制的緊密過程窗口以及高度的材料消耗效率。它還通過其遠程門戶和流程監控功能支持高級流程自動化。TEL TE-8401單元還支持先進的Pulsed Etch Process （PEP）技術，該技術能夠處理3 D線平整、更復雜的設計和更薄的介電層，同時保持出色的輪廓和蝕刻速率控制。此外,它的自動配方控制及其逐層精度和準確性有助於減少制造時間和成本。總體而言，TOKYO ELECTRON TE 8401蝕刻機或asher是一種高級機器，設計用於中大規模生產的超精密蝕刻先進微電子結構。其高處理速度、脈沖等離子體蝕刻技術和工藝自動化使其成為制造日益復雜的半導體器件的理想解決方案。