二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #293758823 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401是一種化學增強的蝕刻設備，利用一系列智能、自動化的工藝在半導體材料中蝕刻復雜的電路幾何形狀。它具有獲得專利的蝕刻工藝技術,可確保準確的蝕刻結果,並且無需手動設計。該系統有一個頂裝式真空室，裏面裝有兩個自對準的子電平單元，一個支撐基板，另一個支撐掩模或圖案。自對準夾緊板確保材料在蝕刻過程中保持牢固的粘合狀態,並且可以以0.01毫米為增量進行調整,以保持結果的準確性。使用靜電銷在靜電卡盤或其他類似方法固定基板，以便於精確定位。TEL TE 8401有兩個蝕刻等離子體源可用，一個410 MHz射頻發生器和一個2.45 GHz諧振器，均基於回旋加速器原理。蝕刻單個材料的循環時間是可調節的,允許低溫蝕刻用於高分辨率處理或高溫蝕刻以提高吞吐量。該裝置采用先進的等離子體控制機器，包括板載設計數據庫和先進的診斷工具，包括電離比測量和離子通量估計，以確保準確處理。TOKYO ELECTRON TE-8401還具有熱性能監測和資產健康監測功能,並帶有確保最佳性能的指標和警報。此外，該車型具有防止可燃、易爆和有害氣體進入蝕刻室的集成安全特性，以及保持最佳運行溫度和壓力的溫度和壓力控制。總體而言,TE-8401是一種可靠、功能強大且精確的蝕刻設備,非常適合為各種應用創建高分辨率的精密電路。它獲得專利的蝕刻工藝技術、先進的等離子體控制和安全特性使其成為生產堅固和不斷擴展的復雜電路的寶貴工具。