二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9134027 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401是一款高度先進的用於幹蝕刻和晶圓灰化的蝕刻/灰化設備。它采用開創性的封閉式設計,在保證環境安全和降低人工成本的同時提供卓越的加工性能和質量。TEL TE 8401具有高性能蝕刻電源,可確保理想的蝕刻條件,無論基板材料或特征尺寸如何。它也有Real-Time Clustering DiseaseTARGET，一個專有的電腦控制蝕刻操作系統，將流程間的變化降至最低。該單元保持高水平的蝕刻再現性，在每一個基板上提供一致的蝕刻質量。TOKYO ELECTRON中包含的先進的Ashing技術TE-8401提供卓越的無粒子Ashing結果。它還根據需要對底物進行廣泛的處理，如熱處理、犧牲性拍打和離子束照射。此外，為確保安全運行，TEL TE-8401包括使用閉合工具惰性氣體的安全機器，確保不會泄漏有害物質。安全資產的封面裝有警報模型，在檢測到氣體泄漏時觸發警報。這樣就不會對操作員和環境造成傷害。TE 8401還有一個名為AUTOSET的高級軟件包,它允許操作員對任何配方參數進行編程,並根據需要輕松存儲和復制這些參數。這大大簡化了配方處理，提高了生產率。為了改善設備的整體維護和使用壽命，TOKYO ELECTRON TE 8401包括一個自動清潔功能，以預定的間隔提供易於處理的清潔操作。這進一步確保了機器中加工的每個晶片的完美質量。因此，TE-8401是首屈一指的蝕刻和晶圓灰化系統，可提供卓越的加工性能和質量，同時確保環境安全和降低人工成本。