二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9144795 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401
ID: 9144795
晶圓大小: 8"
Dry etcher, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401是一款高性能、先進的蝕刻器/asher設備,旨在快速高效地去除工件表面的材料。它是各種半導體等微電子應用的熱門選擇,旨在滿足先進半導體生產線的需求。TEL TE 8401能夠在濕法和幹法過程中進行蝕刻。該系統旨在提供一個受控的壓力和溫度環境,以便在整個循環過程中高效蝕刻和精確塗層。TOKYO ELECTRON TE-8401采用多位置、動態、可調節的卡盤單元,為高效蝕刻和覆蓋提供必要的工件定位。該機包括一個混合控制工具,它使過程控制參數多樣化,以提高蝕刻效率和精度。TOKYO ELECTRON TE 8401配備了先進的等離子源-動力源控制資產。它利用雙模、變頻發生器為特定應用或不同工件材料提供設置。可調電源允許完全控制等離子體源速率和強度,使用戶能夠優化蝕刻過程。TEL/TOKYO ELECTRON TE-8401還包含回收模型,以收集蝕刻過程中釋放的任何氣體或材料,確保清潔操作。整體真空設備清除揮發性蒸氣,而過濾系統捕獲磨料顆粒。這種空氣清洗裝置最大限度地減少了機器的排放,保持了清潔安全的工作環境。TE 8401是一款可靠、高效、備受推崇的蝕刻工具,是半導體和微電子制造商的熱門選擇。其混合控制資產、先進的等離子體源、可調卡盤、集成回收模式提供了卓越的蝕刻和塗層性能,而其空氣清潔設備則最大限度地減少了排放。該蝕刻器/asher系統旨在為復雜的半導體和微電子應用提供無差錯的蝕刻解決方案。
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