二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9161274 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401是一種等離子體蝕刻方法，用於微電子制造中的多個半導體程序。該蝕刻器是一種先進的工具，設計用於精密幹蝕刻，具有挑戰性的應用復合材料。其自動化的控制界面和易於使用的過程控制設備能夠實現可靠的蝕刻過程。TEL TE 8401獨特的自調電源技術，使其能夠以更高的吞吐量和優異的重復性提供精確的高速蝕刻。該蝕刻器配備了先進的高速負載鎖，以保持有效的過程控制，從而確保最小的磨損。高速運輸晶片操縱裝置也是為了在負載鎖和製程室之間快速而平滑的晶片移動而設計的。TOKYO ELECTRON TE-8401的先進等離子體源可以獨立控制蝕刻深度、輪廓、材料去除速率和特征細節,以防止過度蝕刻。它具有廣泛的蝕刻能力，可以蝕刻各種介電和多晶矽材料、銅層或絕緣體，用於廣泛的半導體器件。這種高性能的工具可以提供非常幹凈的蝕刻表面和超高分辨率的設計,並以最小的速度和最小的工藝副產品。TOKYO ELECTRON TE 8401包括一個集成的控制系統和通信協議來管理多達16個單獨的蝕刻過程。它具有多輪廓蝕刻功能,深度和時間蝕刻均可在可用的最高精度和無需手動幹預的情況下進行。它還具有嵌入式診斷單元,可確保一致的蝕刻性能並監控任何潛在的硬件故障,從而最大程度地減少停機時間。TEL TE-8401蝕刻器具有多項安全功能，包括壓力互鎖以防止操作過程中壓力積聚，以及惰性氣流監測器以確保腔室至少有輕微加壓以快速阻擋任何與過程相關的汙染。蝕刻機的控制機也確保在適當的冷卻資產到位並準備就緒之前，刀具不會啟動。