二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9292597 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401是一款先進的化學蝕刻器/asher，為各種材料提供精確的沈積和蝕刻，包括陶瓷和金屬。設計用於先進材料加工，如薄膜沈積、結晶、摻雜等。該設備采用低壓真空沈積方法，使亞微米沈積厚度具有高長寬比特征。該系統依靠自己獨立的PLC和專用的工藝計算機運行，允許利用先進的技術、工藝和配方。該裝置的電極偏置控制提供了可用的最高分辨率蝕刻，其三區具有精確的濃度控制保證高精度蝕刻和沈積。使用單一晶圓方法可以實現精確的均勻性和靈活性,以滿足最苛刻的生產要求。低壓過程還可以確保底層晶片不會損壞。其自動測量單元可快速精確地測量基板輪廓。該機器具有用戶友好的界面以及各種各樣的配方和程序，使用戶能夠完全控制整個蝕刻和沈積過程。這些程序定期更新，以確保該工具能夠跟上材料科學的最新進展。它還能夠儲存幾種食譜，以便根據需要加以利用。利用GEM80,將TEL TE 8401與GEM80相結合,實現了無與倫比的材料蝕刻和沈積控制.其特點是配方經過優化以產生小特性，如金屬化線和ITO/LCL薄膜元件。GEM80還支持保形塗層工藝，使微薄層的聚合物或金屬從幾埃沈積到幾微米的厚度。通用的TOKYO ELECTRON TE-8401 蝕刻器/asher是一種強大的工具，能夠對各種材料進行精確的沈積和蝕刻。其先進的特性和用戶友好的界面使其成為先進材料加工的理想選擇。