二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9398263 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401是一款為精密蝕刻和ashing應用而設計的蝕刻器/asher。它是一個帶有加熱基座的批量等離子體蝕刻器/灰光器，可以在低熱預算的情況下蝕刻和粉刷精細特征。它具有較高的偏置功率水平，以精確控制蝕刻和灰化速率，高均勻性和寬蝕刻和灰化窗口。TEL TE 8401有四種操作模式：蝕刻、灰化、濺射和清洗。配備幹式、四濾波器設備，包括蝕刻室、反應室、冷卻室、凈化室四種過濾器。在蝕刻模式下,TOKYO ELECTRON TE-8401可用於細微特征的蝕刻,最大功率為600 W。具有先進的蝕刻/灰化窗口、寬大的腔室溫度範圍和高均勻性,TE-8401可用於細小特征的高分辨率蝕刻/灰化,提高性能。它允許在晶片表面上形成等距特征，並具有均勻的蝕刻/灰化特性。TOKYO ELECTRON TE 8401還有一個主動控制系統，用於控制階段溫度和壓力的均勻等離子體參數。在ashing模式下,TE 8401用於使用高偏置功率級別來移除不希望的層。它具有很高的可重復性和最小的熱預算，非常適合去除聚合物和金屬薄膜。TEL TE-8401的有源氣體管理單元通過其高偏置功率控制，在不降低介電蝕刻選擇性的情況下，保持了低蝕刻壓力和高灰化率的腔室壓力。此外,TEL/TOKYO ELECTRON TE-8401的高級操作模式允許更大的通量和改進的溫度均勻性。在濺射模式下，TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401能以其高沈積能力提供優異的沈積速率。具有較高的偏置功率水平和優異的均勻性，可用於薄膜沈積和濺射清洗。該裝置還配備了常規的空腔式濺射室，用於特定於應用的濺射能力。最後,TEL TE 8401的內置清潔模式允許以最低的熱預算實施來清除殘留物。這減少了汙染的機會，提高了各種應用的蝕刻表面的均勻性。總體而言，TOKYO ELECTRON TE-8401是一種先進的蝕刻器/asher，設計用於優化蝕刻和精細特征的灰化。它具有高偏置功率水平、高均勻性、寬蝕刻/灰化窗口、有源氣體管理機器和四種操作模式。這種高性能設備是用於精密蝕刻/灰化應用的非常寶貴的生產工具。