二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9412380 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401是一種在半導體製造過程中使用的蝕刻機/asher機。它是一種高精度的工具，設計用來蝕刻和傳送從光刻相到沈積相的圖樣晶片。TEL TE 8401具有多項令人印象深刻的功能,包括用於精確蝕刻深度控制的精密幹涉測量和用於基板定位精度的集成對準傳感器。該機還有一個大腔室，用於大面積基板的均勻蝕刻。此外，TOKYO ELECTRON TE-8401有一個幹凈的幹蝕室，可以減少顆粒，從而提高工藝控制和提高產量的可靠性。而且，TEL/TOKYO ELECTRON TE-8401用途廣泛，可用於HF、HF/CXF、FOSR、ICP蝕刻等多種工藝化學。它還支持各種不同的基板尺寸,最大為4英寸,並使用高級控制平臺進行精確的過程監控。除了精密的蝕刻能力外，TEL TE-8401還配備了無震傳遞元件和定制的多點傳遞機構，以盡量減少對基板表面的傷害。這通過確保基材免受汙染和應力的保護，進一步提高了產量。TE-8401是一種非常可靠和精確的蝕刻和灰化工具，專門為半導體制造過程而設計。其優良的控制平臺和無震轉移機制使得產量可能達到最高。它是任何半導體設施的絕佳補充，其種類繁多的工藝和基材尺寸使其更加通用可靠。