二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC #9016196 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC是一種最先進的蝕刻器/asher設備，用於在多種基材上進行高精度圖樣化。它結合了真空沈積系統、基板加熱、增量線寬控制等先進功能，提供卓越的蝕刻和灰化性能。該單元的設計可容納高達314毫米的基板，可容納高達256毫米寬的圖紙。真空沈積機是一種高效的過程，多層材料根據其需要沈積在基板上。這是使用高壓直流源和燈絲端子來完成的，該端子加熱目標材料，使材料蒸發或濺射到基板上。然後由電子束輔助的壓力梯度在底物溫度下熔化或汽化源材料。這確保了多層在基板上的精確、均勻和可重復的沈積。TEL TE 8500 ATC具有高級自動步進控制（ASTC）工具,可精確控制整個樣品的線寬和層厚度。該資產的工作原理是不斷監測蝕刻速率和調整蝕刻深度，以保持基板上所有圖案層的均勻厚度。使用此模型,可以一致地實現小至50 nm的線寬。ASTC設備還允許在蝕刻工藝和灰燼工藝之間快速切換，而無需人工幹預。此外，TE 8500還配備了光發射光譜（OES）系統，該系統使用激光產生散射在基板表面的光束。然後，這種散射光通過光學濾光片發送，並進行測量，以確定加工層的蝕刻或灰度深度。此過程允許對陣列寬度進行微調控制。TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC單元適合印刷電路板、顯示器、納米電子、半導體制造等多種行業。它將高精度的圖樣設計、簡單的操作和自動控制功能相結合,使其成為任何需要精確蝕刻或灰度處理的應用程序的絕佳選擇。該機器提供垂直或水平安裝選項,可提高靈活性和在各種過程中的集成。