二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC #9148201 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC是一款蝕刻器/asher，采用最新的業界領先技術設計，提供先進的處理性能。該機配備單一基座，使其每小時可處理多達8500個晶圓，同時滿足先進設備處理所需的緊密表面和邊緣輪廓規格。此外,該設備可以配置為濕法或幹法蝕刻。其先進的原位傳感器設計能準確檢測和優化蝕刻和灰化過程，以最大限度地提高蝕刻/灰化性能，並最大限度地減少粒子生成。該系統還配備了先進的清潔功能，有助於保證蝕刻和灰化工藝的質量。該機還設有層厚度監視器，可以檢測晶片蝕刻或灰化後殘留的水平，防止意外過度蝕刻或灰化。通過不斷監控蝕刻或灰化過程的持續時間和質量，它可以保持一致的蝕刻/灰化速度，為用戶提供可靠且可重復的蝕刻/灰化功能。TEL TE 8500 ATC是為方便操作而設計的全自動單元。可以將其編程為對特定應用程序和材料執行蝕刻或灰化,並自動存儲數據以進行過程和性能分析以獲得更快、更準確的結果。該機還具有高吞吐量連接選項，方便與其他TE系統連接，實現半導體生產自動化。總體而言，TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC提供高級蝕刻/灰化性能，具有高度可重復和可靠的結果。