二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 ESC #9266608 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ESC是一款高級蝕刻器/asher，專為最高精度的蝕刻和灰化工藝而設計。設備設計用於各種應用和行業，從實驗室到制造。TEL TE 8500 ESC利用不同的工藝室創建精確的蝕刻和灰化功能。不同的過程腔被分成分開的過程腔和排氣腔，由等離子體屏蔽隔開。這種布置在蝕刻和灰化過程中提供了卓越的清潔、高速和均勻性。TOKYO ELECTRON TE 8500 ESC提供了一系列功能,旨在提供高度精確的蝕刻和灰化工藝。該系統能夠直接和間接晶圓傳輸,以確保最大產量.還集成了實時錯誤識別單元,以防止晶圓或機器本身受到物理損壞。該工具還能夠支持一系列蝕刻和灰化過程，如電離物理氣相沈積（PVD）、化學氣相沈積（CVD）、真空紫外線（VUV）和電阻灰化。這些過程提供了一系列精確的選項,並且可以根據用戶的特定要求進行調整。TE 8500 ESC還可以針對特定的應用程序進行定制,並可以通過附加功能進行升級,例如板載冷卻系統,以提高精度。此外，該資產易於使用，需要最少的維護，非常適合繁忙的實驗室和工業環境。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ESC是一款高級蝕刻器/asher,提供卓越的精度和性能。該模型支持一系列蝕刻和灰化過程，提供直接和間接晶圓傳輸，並且可以根據特定應用程序的要求進行定制。此外，該設備易於使用，需要最少的維護，使其適合繁忙的實驗室和工業環境。