二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC #293642894 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC是一種蝕刻器/Asher，設計用於從基板上去除材料，如半導體晶片或平板顯示器，使用等離子體蝕刻、反應性離子蝕刻或物理濺射的方式，並帶上氙氣、氧氣、氮氣或其他等離子體氣體。它是為高吞吐量而設計的，能夠同時加工多達四個直徑300 mm的基板。TEL TE 8500 PATC提供了廣泛的特性和功能,包括精密蝕刻和灰化、過程控制和自動化、簡化配方和數據管理以及低溫處理。設備結合了高端電源、等離子體發電機、射頻電源，保證了高性能、可重現、可靠的蝕刻效果。該系統還提供了10 mTorr的低基壓和5 mTorr至250 mTorr範圍內處理壓力的快速泵送循環的高真空環境。具有離子束成像傳感器（IBIS）的高分辨率光學成像單元設計為對蝕刻過程提供連續反饋，以確保均勻蝕刻。此外，它還提供了高度自動化的自動晶片/基板裝卸以及ETCH Index Control（EIC），它允許機器與其他蝕刻系統並行操作，同時提供所有參數的訪問和控制。TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC占地面積不大，設計上易於融入工廠。該工具的內置廢氣資產提供高效的能源消耗，防止回流，並符合不同國家的安全法規。它還提供了用戶友好的界面，以及易於跟蹤的操作指南，使用戶能夠快速設置和使用模型。而且，設備提供了廣泛的食譜，可以進行定制和保存，使用戶可以毫不費力地重復一個過程，並最大限度地減少設置時間。綜上所述,TE 8500 PATC是為晶圓/基板加工而設計的高性能、經濟高效且易於使用的蝕刻器/asher。它的自動化過程控制、低溫能力和易於集成,使其成為各種蝕刻和灰化應用的理想系統。