二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC #73160 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC是一種蝕刻器/asher機器，設計用於現場生成諸如砷化鋁（AlGaAs）等復合半導體材料。這臺機器具有高性能的TEL 8500 蝕刻/asching工藝，用於創建定制的半導體器件。TEL TE 8500 PATC由一個容納TOKYO ELECTRON 8500 蝕刻/asching工藝的基礎單元和幾個半導體預處理元件組成。基礎單元固有包含真空室、機械級、傳感器控制和數據采集系統。堿基單元還連接到幾個外部預處理組件，如真空泵、轉移棒和TEL/TOKYO ELECTRON 8500蝕刻/灰化工具本身。TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC的真空室部分允許使用二次蝕刻/灰分氣體的耐泄漏蝕刻/燒蝕工藝。這種雙氣體工藝使底物暴露於反應性氣體氣氛中，使底物的排出氣體最小化，從而導致可重復的蝕刻/灰化過程，並產生一般無缺陷的底物。TE 8500 PATC中包含的機械級允許從基板表面精確去除不需要的材料。該級與幾個計算機控制的執行器和傳感器相結合，從而實現精確的自動處理和蝕刻/灰化。此外，在蝕刻/灰化過程中，機械級的位置可以很容易地監測和調整，以確保準確性和效率。利用TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC系統的傳感器控制設備，通過向工藝控制器提供反饋來監測和重新建立蝕刻/灰化工藝的精度。此反饋可用於識別可能存在的任何異常情況,例如蝕刻/灰化均勻性降低或蝕刻/灰化速度波動。此單元還有助於最大限度地減少由於任何不可預見的條件而導致蝕刻/灰化故障的可能性。利用TEL TE 8500 PATC的數據采集機記錄和顯示所有蝕刻/灰化過程的各種工藝參數，如基板溫度、氣流和壓力等。此數據被存儲起來,可用於分析蝕刻/灰化過程和調整參數,以優化蝕刻/灰化過程的質量。總體而言，TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC是一種極為先進的現場蝕刻/灰化工具，用於定制生成復合半導體。通過結合真空室、機械級、傳感器控制資產和數據采集模型，本機提供了高效的蝕刻/灰化過程，同時保持了安全的工作環境和蝕刻/灰化的準確性。