二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC #9148198 待售

TEL TE 8500 （S） ATC是一款在半導體制造中使用的高度先進的蝕刻器/asher。它是一種新一代、高通量、高性能的蝕刻器/蝕刻器,旨在處理各種應用程序的過程。該設備采用中性粒子半導體加工模塊（NPS）和高電子多陷阱（MET）子系統的組合，實現了低蝕刻速率、均勻性和優越的蝕刻特性質量。核動力源單元由一個旋轉光發射單元（OEC）和一個質量分析儀組成，它們捕獲和分析加工氣體中的顆粒以進行蝕刻或灰化。這臺機器能夠處理不同的氣體，從而對蝕刻和灰化過程進行精確的控制和調節。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATC還包括一種具有高速率精度的基於磁場的蝕刻止動機構，使該工具能夠確定性地以可靠的方式運行。該工藝室可在低反應性處理氣體的情況下高效工作，從而更好地控制蝕刻速率和均勻性。該資產還支持非常大的基板，使其成為大規模生產過程的理想選擇。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATC也支援廣泛的底物溫度，從真空到高溫，使其適合多種工藝。該型號配備了多種鈴聲，包括用戶友好的GUI、預編程的最先進的工具序列、錯誤處理、高級配方管理和軟件調試功能。它還配備了一個功能強大的控制平臺,具有大型數字化顯示面板和可定制的流程數據庫,旨在滿足特定於客戶的需求和流程。此外,TEL TE 8500 （S） ATC的設計考慮到了性能可靠性和可維護性,並附帶了多種選項,如多室、可編程氣體和腔室溫度以及離線配方管理。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATC是為半導體製造業而設計的穩健且先進的蝕刻器/asher。它采用模塊化設計,高通量和增強的特性一致性允許更高效的生產過程周期。該設備非常可靠且可定制,非常適合各種應用,是希望提高生產能力的半導體公司的絕佳選擇。