二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC #9148200 待售

TEL TE 8500 （S） ATC是為生產微機電系統（MEMS）和其他小型敏感元件而設計的先進蝕刻設備。它是等離子體蝕刻室的行業標準，以精度和吞吐量著稱。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATC是一個多室系統，有一個包含最多四個子室的過程室。它包含許多高級功能,可實現嚴格的過程控制和可重復性,同時最大程度地減少組件損壞。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATC包括一個帶有真空密封氣體箱的氣體分配單元,通過回填和混合機器內的氣體以及外部的氣體供應來確保氣體的穩定性。這有助於確保可重復的薄膜特性和蝕刻速率。蝕刻過程通常通過施加電場來產生等離子體，並將等離子體引向元件表面來工作。TEL TE 8500 （S） ATC還包含一個帶有傳感器的上部卡盤,可進行精確的溫度和壓力控制,從而提供可靠且可重復的蝕刻結果。上卡盤的設計是為了確保整個元件的溫度均勻,並且隨著時間的推移平整度保持在底物的公差1-3微米和雙面晶片的公差4-10微米。上部卡盤內的晶圓級清潔工具也有助於最小化顆粒堆積以及特征選擇性材料。此外，TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATC有一個自對準裝載機，可以在腔室和裝載鎖之間進行有效的晶圓轉移。這樣可以防止對基板的傷害或汙染。為了增加安全性，資產配備了眾多內置安全功能，可在必要時自動關閉流程。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATC是一款最先進的蝕刻器/asher，旨在滿足半導體制造商最苛刻的要求。該腔室能夠提供精確、可重復的蝕刻結果,且組件損壞最小。該模型還確保用戶的生產效率和安全。高級功能和安全功能的結合使TEL TE 8500 （S） ATC成為大批量生產的理想選擇。