二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC #9293867 待售

TEL TE 8500 （S） ATC蝕刻器是一種用於模式傳遞和模式定義的微加工設備。TE 8500系列是為各種半導體技術應用而設計的最先進的儀器。該系統在超低溫和精細的特征切割功能下運行,從而降低了擁有成本。它的氧化和平面化功能使客戶能夠更準確和可靠地定義微尺度和納米尺度特征。TE 8500蝕刻器具有高級自動調節控制器（ATC）,可自動優化蝕刻和材料去除參數。它還提供了一系列操作模式，如化學調制工藝，可用於細化表面粗糙度。TE 8500控制軟件采用圖形用戶界面和集成診斷程序設計,以簡化設備的調整和操作。該機器產生時間和能量歷史的蝕刻和平面化晶片表面。TE 8500精密負載鎖為正在加工的晶片提供了一個幹凈、無汙染的環境，並提供了晶片邊緣和晶片加工室之間的平穩傳輸。TE 8500蝕刻器獨特的安全特性是其內置的離子源清洗功能。這有助於確保蝕刻化學品和沈積線安全，不受顆粒汙染，從而實現更好、更可靠的蝕刻工藝。TE 8500有1.2M、2 M和3 M平臺。所有平臺均采用集成的Cognex視覺系統進行自動晶圓檢測和對準。2 M和3 M平臺還具有測量關鍵尺寸的功能。總體而言，TE 8500 （S） ATC蝕刻器是微加工和半導體技術的理想選擇。它體積小巧、擁有成本低、功能先進,是希望優化生產流程的客戶的絕佳選擇。