二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293608638 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一種蝕刻器/asher設備,設計用於去除各種基板上的材料,包括金屬、多晶矽和多金屬表面結構。該系統利用堅固的物理氣相沈積(PVD)源和全面的工藝控制參數選擇,能夠在廣泛的應用中提供精確、可重復的結果。TEL TE 8500具有簡化的腔室設計,具有獨立控制的源和基板位置以及方便的輔助模塊訪問。廣泛的工藝等離子體源提供了創建高度分析性蝕刻所需的靈活性,包括幹法和濕法化學的備選方案。該裝置先進的溫控機允許進行溫控蝕刻工藝,以提高設備性能和提高生產吞吐量。TOKYO ELECTRON TE 8500是蝕刻復雜布局的理想工具,為生產應用提供了出色的工藝控制和可重復的結果。這種蝕刻器/asher資產是研發領域各種基材精密蝕刻的絕佳選擇。
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