二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293608639 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款先進的工業應用蝕刻器/asher。它是一款提供卓越蝕刻性能的高端開環設備（OLS），用於創建多級介面、柵極結構、電容器和其他關鍵組件。作為一個OLS，它以實時蝕刻監控和自動工藝優化的精密工藝控制，自主維護穩定的蝕刻條件。TEL TE 8500利用氣動主動快門系統隔離源等離子體和操作環境。它能有效地減少交叉汙染，提高蝕刻選擇性和可重復性。其先進的高頻（HF）源等離子體發生器提供卓越的可控性和靈活性，允許微調調整和小特性和/或MEMS組件的均勻蝕刻。TOKYO ELECTRON TE 8500還提供了具有多氣體引入功能的可擴展工藝室,使等離子體蝕刻具有 、 、Ar、 、 、He、 、 等多種用途。它使用自動配方控制單元運行,無需用戶幹預即可實現可重復、可靠和安全的蝕刻,以及允許即時進行更改的實時編輯機。在安全性方面，TE 8500符合相關國際標準，並擁有高真空截止、熱關機、過流保護等內置保護機制。它還配備了一系列附件和可選的裝載機/卸載機工具，提供了更大的便利和用戶關懷。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是各行業精密蝕刻精細圖案和MEMS元件的理想選擇,與當今市場上的其他蝕刻器和分量相比,具有更高的準確性、重復性和靈活性。