二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293634691 待售

TEL Limited （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款Etcher/Asher設備，專為半導體和平板工業中的先進等離子體蝕刻和沈積工藝而設計。開發該系統是為了降低工藝開發和制造成本，同時實現比傳統系統更高的吞吐量和更高的精度。TEL TE 8500可以一次處理多種底物，結合高達25個位置的高密度等離子體源，並優化用於進行精密蝕刻和摻雜操作。該裝置配備了先進的溫度控制和工藝可視化技術，用於監測和優化加工條件，以提高效率和工藝一致性。它還能夠容納各種各樣的晶圓直徑、基材尺寸和工藝配方。TOKYO ELECTRON TE 8500利用專有的浮動卡盤技術,避免局部熱應力,確保在連續運行過程中的最佳溫度控制和準確性。它能夠管理多個無間隙對齊的工藝室，以確保均勻的工藝放電分布。機器還可以從蝕刻器/asher腔室中的每個卡盤進行溫度測量，延遲僅為1毫秒，溫度穩定性高於1°C。這種高精度溫度控制對於確保半導體制造過程中更高的屈服率和更長的晶圓壽命至關重要。TE 8500還采用了一些先進的等離子體控制和過程監測工具，以確保高度可靠和可重復的蝕刻和沈積過程。它利用光譜分析提供等離子體的實時表征，允許等離子體參數只需點擊幾下即可調整，並在配方編輯器中提供視覺過程監控，跟蹤和分析過程進展。此外，TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500能夠對蝕刻和摻雜過程進行高分辨率記錄，並允許用戶輕松修改工藝配方以優化性能。此外,該工具的用戶友好界面和遠程控制功能使流程工程師、底物測試人員和流程操作員之間能夠高效協作,從而促進流程開發和改進。總體而言，TEL TE 8500是一種先進的蝕刻器和asher資產，它結合了高效的過程控制、可靠的性能和用戶友好的功能，以實現高精度的蝕刻和摻雜操作。其強大的設計和高精度的工藝控制能力使其成為半導體和平板生產工藝的理想選擇。