二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293657837 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一種主要用於電子器件制造的蝕刻器/asher。它是一種高度先進、多功能的設備，結合了蝕刻、ashing、幹蝕刻、光致抗蝕劑去除等高度專業化的任務。系統由各種組件組成,這些組件將蝕刻器的不同功能集成到單個設備中。TEL TE 8500中最重要的組件是氣流控制器、RF電源模塊和遠程接口。這些組件協同工作，提供可靠的蝕刻和清洗過程。氣流控制器用於控制各種氣體進入腔室的流量。射頻電源用於提供用於等離子體形成的電源。此外,遠程接口還可用於監視和調整蝕刻過程的參數。TOKYO ELECTRON TE 8500還擁有一個自動氣體調節裝置，確保了一致和可靠的蝕刻過程。這可以用來控制惰性氣體的流動，例如，用來製造穩定等離子體的氙氣、氦氣或k氣。此外,還可以對機器進行編程,以自動控制射頻功率和氣體流量。TE 8500的另一個重要特點是其開環過程控制。這使得工具可以在等和灰化過程中動態調整氣流和其他參數，從而實現精確可靠的蝕刻和灰化。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500還利用了先進的診斷和溫度控制系統。它可以自動檢測和防止資產過熱,提供一致和可靠的過程結果。該機也具有很高的兼容性，可與單晶片工具、批處理設備、臺式系統等多種晶圓處理設備集成。這使得它成為廣泛行業以及學術和研究環境的理想選擇。總體而言,TEL TE 8500是一款精密的蝕刻器/asher,可提供可靠、精確且可重復的蝕刻和蝕刻性能。它可用於多種應用，其高級功能提供穩定一致的蝕刻過程。