二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293758440 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一個先進的蝕刻/asher系統,旨在提供電子和半導體領域的精確和精確的薄膜加工過程。這種蝕刻器可用於將薄膜層沈積在多種基板上,這些基板包括矽、砷、玻璃和藍寶石。這款蝕刻器/asher采用超高真空技術,以確保蝕刻工藝幹凈、無汙染物。TEL TE 8500具有500 mm的大腔室直徑和18 「x 18」的最大基板尺寸。平均溫度穩定度± 0.2°C,工作溫度範圍為10°C至600°C。該蝕刻器的一個獨特特點是能夠以不同的射頻功率處理多層,使其成為需要多層薄膜沈積的先進半導體器件的理想選擇。TOKYO ELECTRON TE 8500為安全操作而設計,配備了先進的安全功能,如檢測到任何不規則性時自動關機,以及防止腔室超壓的雙氣線安全閥。此外,該蝕刻器還配備了一個集成的溫度控制系統和一個靜態防反沖運動平臺,以確保在蝕刻過程中的準確性和可重復性。此蝕刻器/asher具有多種功能,可根據任何應用程序的需要量身定制,從纖維層到厚膜工藝不等。程序可以按步驟或連續模式運行,蝕刻器還具有快速更改功能,可以快速更改材料。TE 8500可以加工多種底物材料,並使用氧氣、氮氣、氙氣、氫氣、氟氣和氯氣等多種氣體,使其具有廣泛的蝕刻能力。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款用於電子和半導體領域的優秀蝕刻器/asher。其大的腔室尺寸和溫度穩定性加上其多功能性,使其適合廣泛的應用,從纖薄層到厚膜加工。其先進的安全特性和集成的溫度控制系統使得它成為一個可靠和有效的蝕刻器/灰燼對於最苛刻的過程。
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